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技術文件
常見問題
VL系列 真空用溫度貼紙
VL系列為日油技研（NIGK）開發的真空環境專用型溫度貼紙，能在 1Pa 至常壓環境下穩定運作，無需電源即可進行即時溫度監測。貼紙於達到標定溫度時會永久變色，能有效記錄製程溫度變化，是真空製程設備、半導體封裝、蝕刻或鍍膜系統等領域中最簡便可靠的溫度檢測方案。
產品介紹
VL系列採用高穩定性材料製成，具備無氣體逸出（無 outgas）特性，適用於真空與低壓環境使用。貼紙示溫部在達標溫度時會由淡黃色轉為黑色，變化清晰且無法回復，可作為溫度履歷記錄或異常熱點追蹤。產品符合 RoHS 規範，不會污染製程環境，能長時間黏附於被測表面。安裝簡便、反應快速，特別適合應用於真空蝕刻、真空沉積、薄膜處理與半導體製程中的熱監控用途。
- 尺寸：8 × 20 mm
- 包裝：1盒 10枚 不分售
※注意事項：請用於230°C以下，若超過230°C有可能產生氣體逸散。除去貼紙時，請常溫冷卻至20°C附近，盡速用鑷子取下。貼紙如果反覆於常溫下冷卻或長時間貼著，可能會較難取下。如果表面有殘留黏著材時，可用稀釋劑等來去除。
規格參數
| 型號 | 溫度組合(°C) | 顏色變化 | 精度 |
|---|---|---|---|
| VL-40 | 40 → 45 → 50 → 55 | 淡黃 → 黑 | ±2°C |
| VL-60 | 60 → 65 → 70 → 75 | ||
| VL-80 | 80 → 85 → 90 → 95 | ||
| VL-100 | 100 → 105 → 110 → 115 | ||
| VL-120 | 120 → 125 → 130 → 135 | ||
| VL-140 | 140 → 150 → 160 → 170 | ±4°C | |
| VL-180 | 180 → 190 → 200 → 210 |
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